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干式渦旋真空泵相關技術和安全使用問答

發布時間:2021-08-20   點擊次數:361次

Q:渦旋干式真空泵使用注意事項?

A:◇渦旋干式真空設計用于抽大氣。所以不要用此泵抽特殊氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等。

◇檢查確定此真空泵安全接地。

◇此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件(因為工作時很熱,最高可能達到70℃)。如確實需要接觸,采取必要防護措施防止受傷。

◇未加風扇蓋前,不要啟動泵。
◇泵工作條件要求:環境溫度5~35℃。如果超過35℃,可能引起泵或電機性能下降。

◇渦旋干式真空泵必須與設計規定電源連接。

◇必須安裝電機保護開關。


Q:渦旋干式真空泵電機沒有熱保護開關,電機鎖死時不能提供過熱保護。必須在泵與電源線之間加電機保護開關,否則電機鎖死時可能冒煙甚至起火。

◇移動泵時不要握塑料件,否則塑料件可能破損。

◇不要刮碰進氣口與排氣口法蘭,以免損壞法蘭口,導致真空度上不去。

如果真空度上不去,更換法蘭。

◇在進氣口處裝真空閥。

真空泵停止后進氣口處真空度降低,是因為排氣口處的大氣返至進氣口處,不是真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度,要在真空室與泵之間安裝真空閥。

◇排氣口處要接排氣管,以防灰塵進入泵內。 


Q:渦旋干式真空泵加氣鎮閥時注意事項?

A:加氣鎮閥主要是為了抽包括水蒸氣在內的特殊氣體,保證泵的良好抽氣性能。使用渦旋干式真空泵時,除上述注意事項外,還要注意:

◇不要用此泵抽腐蝕性氣體
此泵只能抽空氣、氮氣和水蒸氣。不要用此泵抽腐蝕性氣體,如有機溶劑、高濃度半導體工藝用氣體、高濃度強酸強堿性氣體等。這些氣體容易使軸承失效。

◇被抽氣體水蒸氣含量必須少于要求值。如果超過此極限,將縮短氣鎮閥壽命

◇加濾網

使用氣鎮閥時,必須加濾網。否則可能抽進灰塵。

◇定期檢查

為了泵正常工作,要對濾網進行定期檢查。否則氣鎮閥不能正常工作。

◇供氣

要保證加適量的氣體使泵高效率工作。


Q:渦旋干式真空泵安裝地點要求?

A:渦旋干式真空泵的安裝應滿足下述要求:

①平面放置

②避免陽光直射

③環境溫度5~35 ℃;濕度90%,或沒有結露

④通風良好

⑤泵附近不得存放化學品或易燃品

⑥防潮

⑦泵周圍環境易于對泵進行清理檢驗。

 

Q:渦旋干式真空泵與電源連接的注意事項?

A:◇檢查確認此泵電源接地良好。

◇檢查確認此泵電源為要求值。

◇在此泵與真空室之間安裝保護開關。

 

Q:渦旋干式真空泵與電源連接步驟?

A:①打開電機接線盒,將電源線與接線柱連接。

②電源線應當為達到或超過直徑1.25毫米四芯電纜。具體參見使用說明書。

③有的渦旋干式真空泵電機內部無熱保護器,一定要安裝保護開關,推薦為額定電流低于10A。具體參見使用說明書。

④確認此泵從電機方向看順時針方向轉動。打開進氣與排氣口。打開電機開關起動電機2-3秒。檢查確定進氣口抽氣。如果電源線連接錯誤,將從排氣口進氣。

 

Q:渦旋干式真空泵排氣注意事項?

A:◇渦旋干式真空設計用于抽大氣不要用此泵抽特殊氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等。

◇不要用此泵抽灰塵。抽灰塵時,一定加濾網。

◇不要刮碰進氣口與排氣口法蘭

以免損壞法蘭口,導致真空度上不去。如果真空度上不去,更換法蘭。

◇在進氣口裝進氣閥


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